特点

产品，稳定性好，性价比高，也可用于搬运托盘



• 机械手臂标准臂长：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm
• Z轴（升降轴）标准长度：20 mm，40 mm
• 可搬运重量：手臂第3关节处基准2kgf以下（臂长160 mm，260 mm，330 mm）
                       手臂第3关节处基准3 kgf以下（臂长190 mm）
• 手臂关节处使用磁流体密封装置
• 真空密封：磁流体密封及波纹管
• 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
• 配备动作监视器
• 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
• 全轴采用2相步进电机
• S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
• 可以选配伺服电机规格
• 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
• 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
• 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指

应用设备实例

PE-CVD设备；刻蚀设备；高温PVD设备

规格

*测试机型：SVCR3260-040-PM（步进电机规格）(中具有代表性的标准品)