系统400片/h

SORTER SYSTEM系统400片/h

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-12-16 10:54:03
282
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北京锐洁机器人科技有限公司

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产品简介

系统400片/h

详细介绍

特点

应用设备实例

半导体生产线

规格
对应片盒 300 mm FOUP(25片)
SEMI E47.1,E62标准品
对应晶圆 300 mm 硅片(厚度:775 µm)
Throughput* 400片/h
洁净度 ISO标准 Class 2(FFU使用)
外形尺寸* W1756xD1200xH1901
重量* 大约 600 kg
厂务 电源:AC200V±15% 20A
干燥空气:0.7 MPa to 0.4 MPa
真空:优于-60 kPa

*测试机型:4 FOUP对向摆放 400片/h

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