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培养皿搬运机械手臂培养皿/微孔板搬运
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面议机械手指
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面议 可实现400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统,系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器
半导体生产线
对应片盒 | 300 mm FOUP(25片) |
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SEMI E47.1,E62标准品 | |
对应晶圆 | 300 mm 硅片(厚度:775 µm) |
Throughput* | 400片/h |
洁净度 | ISO标准 Class 2(FFU使用) |
外形尺寸* | W1756xD1200xH1901 |
重量* | 大约 600 kg |
厂务 | 电源:AC200V±15% 20A |
干燥空气:0.7 MPa to 0.4 MPa | |
真空:优于-60 kPa |
*测试机型:4 FOUP对向摆放 400片/h