特点

能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。



• 机械手臂标准臂长：330 mm
• Z轴（升降轴）标准长度：60 mm
• 可搬运重量：手臂第3关节处基准4kgf以下
• 手臂关节处使用磁流体密封装置
• 真空密封：磁流体密封装置以及波纹管
• 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
• 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
• 配备动作监视器
• 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
• 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
• S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
• 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
• 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
• 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供优选的手指

应用设备实例

高温PVD设备；刻蚀设备等

规格

*测试机型：GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的标准品 (搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同)