2,3寸100～150 mm对应的吸笔

伯努利吸笔2,3寸100～150 mm对应的吸笔

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-12-16 11:10:33
476
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北京锐洁机器人科技有限公司

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产品简介

利用伯努利原理能够吸附减薄晶圆轻盈，小巧由于不属于真空吸附，能够降低晶圆破损的风险

详细介绍

特点

应用设备实例

半导体后道工序生产工厂

规格
被搬运物 2, 3寸, 100～150 mm
可为客户定制适用于200 mm，300 mm晶圆的产品
材质 铝合金（前端）
表面处理 旋风吸盘：黑色阳极氧化处理
前端其他部分：白色阳极氧化处理
晶圆吸附方式 利用旋风吸盘提供吸力并利用氟橡胶材
质的垫片保持晶圆和吸盘之间的相对位置
允许搬运重量 50 g以下
使用气体 洁净空气，N2
供给压力 0.3 MPa以下（吸笔本体的入口处）
气体流量 15 L/min
质量 110 g
  • 开关部分的相对滑动部件之间没有使用润滑油
  • 旋风吸盘 标配数量：1个
  • 垫片（材质：氟橡胶）通过和晶圆接触起到了保持晶圆和吸盘之间相对位置的作用
  • 连接件 120度类型（默认出厂状态), 90度类型（附件）
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