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培养皿搬运机械手臂培养皿/微孔板搬运
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面议 可安全准确的搬运储片盒的的薄片。
半导体工厂生产线
| 可对应片盒的种类 | 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬运物 | 200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片) | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 外形尺寸 | 1100 (宽) x 980 (深) x 1805 (高) | |||
| 厂务 | 电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 250 NL/min 以上 | |||
| 重量 | 600 kg | |||
*我司可以针对客户对晶圆尺寸，储片盒数量，是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
可对应多家厂商规格的储片盒。有关产品规格及产品相关详细信息请咨询我司销售人员。
