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培养皿搬运机械手臂培养皿/微孔板搬运
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面议 可安全准确的搬运储片盒的的薄片。
半导体工厂生产线
| 可对应片盒的种类 | 300 mm 储片盒, 300 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬运物 | 300 mm 硅晶圆, 300 mm 储片盒内垫片(片间垫片) | |||
| 洁净度 | 配备高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度 | |||
| 外形尺寸 | 1350 (宽) x 1434 (深) x 1900 (高) | |||
| 厂务 | 电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 250 NL/min 以上 真空：-70 kPa 以上 | |||
| 重量 | 450 kg | |||
*我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。
