切割刀片

VT07 SERIES切割刀片

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-08 09:00:56
618
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DISCO Corporation

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产品简介

从难切削材料到硅晶圆修边,可实现各种加工陶瓷结合剂加工对象:Si3N4,Crystal,Sapphire,etc采用了至今难于制作薄型刀片的陶瓷结合剂

详细介绍

从难切削材料到硅晶圆修边,可实现各种加工

  • 陶瓷结合剂

加工对象: Si3N4, Crystal, Sapphire, etc

采用了至今难于制作薄型刀片的陶瓷结合剂。因为结合剂的高刚性,高切削能力,所以在高负荷加工时,也可以保证加工物的垂直度和尺寸精度,从而实现对难切削材料的高品质加工。此外,由于结合剂种类增加,实现了包括硅晶圆修边加工在内的各领域的加工。

  • 在高负荷加工时,实现高垂直度和高尺寸精度的加工
  • 实现蓝宝石及硬质陶瓷的高品质加工
  • 实现高品质的修边加工

结合剂种类

各种结合剂的用途

结合剂名称 主要用途
VT07 VC100 高负荷、难切削材料加工用(蓝宝石、水晶、深槽加工等)
VC200 修边加工用(硅)

各结合剂的对应范围

各结合剂的对应范围

实验数据

蓝宝石加工

在加工高硬度的蓝宝石时,与以往的刀片相比,能夠实现更高的加工品质。

蓝宝石加工
Workpiece Sapphire 0.7 mmt
Blade VT07-SD400-VC100-150
G1A851 SDC240R13B01
Spindle revolution 15,000 min-1
Size 56 x 0.3 x 40 mm

硅晶圆的修边加工

利用VT07系列(VC200结合剂)切割刀片进行修边加工后,晶圆边缘的加工品质和用树脂结合剂刀片加工后的效果相同。

Workpiece Si
Blade VT07-SD2000-VC200-100
B1A801 SD2000N100M42
P1A862 SD1200N100BR16
Blade size 58 x 1 x 40 mm
Feed rate 5 degree/s
Depth 0.5 mm into Si wafer
Spindle revolution Vitrified bond 20,000 min-1
Resin/Metal bond 30,000 min-1

技术规格

技术规格

使用时的注意事项

基于陶瓷结合剂的特性,在使用时请注意如下事项。

  1. 刀片不具有导电性,不能进行接触式测高设定。
  2. 高转速使用时可能会发生刀片破损,请在转速范围内使用。
  3. 使用附有标准BBD(刀片破损检测器)的机台时,可能会发生误检测,需要变更设定。
  4. 在磨刀前请勿进行CCS(Chopper Cut Setup),否则,可能会发生刀片破损。

*具体细节请向本公司销售部门咨询。

外径(mm) VT07转速(min-1
50.0-63.4 20,000
63.5-88.3 13,000
88.4-117.0 10,000

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