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主要特点：
设备特点：
1、线形光斑的激光整形技术，实现在不同尺寸加工样品上的剥离操作
2、气浮式的工作台实现无接触无摩擦的加工形式，避免产生粉尘颗粒，保证装备内部的洁净度
3、高精度、大尺寸、双工位的stage设计，可有效提高生产效率
4、panel载台吸附设计。激光设备的物料载台的真空吸附部分，采用了分区域加时间延迟的设计，先吸附中间部分，再逐次往外围吸附，保证带柔性膜的panel可以无皱褶高效吸附
主要参数:
| 主要参数 | 加工尺寸 | 1"-8" |
| 加工速度 | 180mm/s | |
| 加工精度 | 0.1μm | |
| 平台参数 | 1）移动精度 X 轴： 0.1μm Y 轴： 0.1μm Z 轴： 1μm Theta 轴： 0.2° 2）定位精度 X 轴： ≤±4μm Y 轴： ≤±4μm Z 轴： ≤±5μm Theta 轴： 0.1° | |
| 激光器参数 | 1）激光器波长： 308nm 2）激光能量： ≥600W 3）激光脉冲功率： 1000mJ 4）总频率： 600 Hz 5）脉冲宽度： 24±4ns 6）脉冲稳定性： ≤1% | |
| 工艺方式 | DPSS激光剥离 | |
| 制程类型 | 激光剥离 | |
| Tact time | 1":4.5s 8":6s | |
| 稼动率 | 0.9 |
加工效果：
