拋光机

DGP8761拋光机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-10-07 09:11:48
831
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产品简介

追求高效率的300mm研削拋光机Φ300mm3axes,4chucktablesDBGSDBGWaferThinningStressReleaf提高加工稳定性,实现更高的生产效率DGP8761是销售业绩突出的DGP8760的改良机型

详细介绍

追求高效率的Φ300 mm研削拋光机

  • Φ300 mm
  • 3 axes, 4 chuck tables
  • DBG
  • SDBG
  • Wafer Thinning
  • Stress Releaf

提高加工稳定性,实现更高的生产效率

DGP8761是销售业绩突出的DGP8760的改良机型。通过背面研削到去除应力的一体化,可以稳定地实施厚度在25 μm以下的薄型化加工。搭载了新开发的主轴,适用于高速研削加工,有助于缩短薄型晶圆的加工时间(于DGP8760相比较)。另外,优化了搬运部机构的布局,缩短了加工以外的作业時間。

第三主轴的多样化应用

作为薄晶圆加工的第3主轴可以有以下选择。

应力释放(Stress Relief)

  • 有利于环保,不使用药液/水的「干式拋光加工」
  • CMP(特殊选项)

超精密研削加工(特殊选项)

  • Poligrind
  • UltraPoligrind

利用第三主轴实现外质吸杂的应用

※外质吸杂:是在Si晶圆内由研削而形成微细的变质层(吸杂区域), 在该吸杂区域内可以捕获/固定重金属等杂质的技术

Gettering DP

采用干式抛光,兼顾高抗弯强度和维持外质吸杂效果的迪思科的解决方案。

研磨轮「UltraPoligrind」

采用微细磨粒「UltraPoligrind」,无需使用化学药物即可进行薄型晶圆加工。既可维持由于研削产生的外质吸杂效果,又可够获得以往研磨轮所无法得到的高抗弯强度。

系统扩展功能

与多功能晶圆贴膜机「DFM2800」联机使用,可一次性完成薄型晶圆DAF薄膜(Die Attach Film)贴膜作业。并且可对应DBG(Dicing Before Grinding)工艺(特殊选项)。

维持与现有8000系列机型间的兼容性及零部件互换性

DGP8761的研磨轮、磨轮修整板等与现有8000系列机型具有互换性。另外,该机型的操作方法及GUI(Graphical User Interface)的画面构成方面也与现有机型具有大量共通性。

加工物流程系统

  1. 用机械手臂将晶圆从晶圆盒中取出,放到中心定位台上进行中心定位、
  2. 用T1取物手臂将晶圆搬运到工作台上→
  3. 进行粗研磨加工→
  4. 进行细研磨加工→
  5. 进行干式抛光加工(去除残余应力)→
  6. 用T2取物手臂将晶圆从工作台移到离心清洗台上→
  7. 进行清洗→干燥→
  8. 移到贴膜机上(DFM2800)。 或者由机械手臂将工作物送回到晶圆盒。
Work Flow System

Specifications

Specification Unit
Wafer Diameter mm Φ300(Φ200 / Φ300)
Grinding Method (Z1/Z2 axis) - In-feed grinding with wafer rotation
Grinding Method (Z3 axis) - Anomalous in-feed grinding with wafer rotation
Grinding Wheels - Φ300 mm Diamond wheel (grinding-axis)
Φ450 mm Dry polishing pad (DP-axis)
Φ450 mm CMP pad (CMP-axis)
Machine dimensions (W×D×H) mm 1,690 × 3,315 × 1,800 (open cassette)
1,690 × 3,452 × 1,800 (FOUP)
Machine weight kg Approx. 6,700(DP, Poligrind)
Approx. 6,900 (CMP)

※为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※使用时,请先确认标准规格书。

Product Lineup

Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions(W × D × H)
Machine weight(kg)
DAG810DFG8340DFG8540DFG8560DFG8640DFG8830DFP8140DFP8141DFP8160
半自动全自动全自动全自动全自动全自动全自动全自动全自动
112224111
123335121
600 × 1,700 × 1,780800 × 2,450 × 1,8001,200 × 2,670 × 1,8001,400 × 3,190 × 1,8001,000 × 2,800 × 1,8001,400 × 2,500 × 2,0001,200 × 2,670 × 1,800900 × 2,584 × 2,0001,400 × 3,322 × 1,800
1,3002,5003,1004,0003,5006,0001,9003,1002,400

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