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由于部分功率元器件和传感器件在研削后所产生的厚度偏差(晶圆间的偏差,单片晶圆内的偏差)会影响其产品特性,需要高精度的研削。 DFG8640通过优化加工点的布局以及搭载各种机构,实现了高精度的研削。
采用2个主轴,3个工作台/1个旋转台构造的全自动研削机。适用于Φ8英寸以下的Si(硅),LiTaO3(LT/钽酸锂),LiNbO3 (LN/铌酸锂),以及SiC(碳化硅)等难研削材料,可对应各种晶圆的研削。
为了实现高精度/高品质的加工,搭载了高刚性・低振动且回转速度变动小的主轴。工作台的主轴亦同样搭载高刚性・低振动・低热膨胀且回转速度变动小的空气轴承部件。
搭载了新型的GUI (Graphical User Interface),可使用同等于智能型手机或平板电脑的触控・滑动等直观性操作。而且可不受页面阶层限制,快速从任意页面进入目的页面。
与以往机型DFG8540相比约减少了13%的占地面积。此外,通过清洗机构动作时间的缩短以及搬运手臂动作的调整,与DFG8540相比每小时的搬运片数提高了1.2倍以上。
Specification | Unit | ||
---|---|---|---|
Wafer diameter | - | Φ8 inch | |
Grinding method | - | In-feed grinding with wafer rotation | |
Grinding wheel | - | Φ200 mm Diamond Wheel | |
Spindle | Rated output | kW | 6 | Revolution speed | min‐1 | 1,000 ~ 7,000 |
Machine dimensions (W x D x H) | mm | 1,000 x 2,800 x 1,800 | |
Machine weight | kg | Approx.3,500 |
※为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※使用时,请先确认标准规格书。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAG810 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8560 | DFG8830 | DGP8761 |
半自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
1 | 1 | 2 | 2 | 4 | 3 |
1 | 2 | 3 | 3 | 5 | 4 |
600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
1,300 | 2,500 | 3,100 | 4,000 | 6,000 | 6,700 |