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通过优化研削及搬运系统的参数,实现了稳定的超薄研削加工。
可以与DBG(Dicing Before Grinding=先切割晶圆,后进行研削)和干式抛光机(DFP8140)等组成联机系统。
该机种是备受各地客户好评的DFG800系列的升级换代机种。既具备了800系列的技术规格及性能,又在设备的重量方面取得了重大改进减少了1.2t自重(比DFG850降低28%)。
通过将主轴的研削加工点与第二主轴的研削加工点的位置统一,提高了第二主轴的研削加工稳定性。减小了单片晶圆内的厚度误差和晶圆之间的厚度误差,又有助于提高超薄研削加工品质的稳定性。
维持与800系列的兼容性,可以使用800系列机相同的研削磨轮,磨轮修整板,主轴以及工作台。
配置了触摸式液晶显示器及GUI (Graphical User Interface),提高了操作便利性。控制画面可同步显示加工状况和设备状态,操作人员只要触摸控制画面上的按钮,就可以简单地完成操作。更便利于日常设备操作和维修保养时的操作。
Specification | Unit | ||
---|---|---|---|
Wafer Diameter | - | Φ8 inch (Φ4, 5, 6, 8 inch with universal chuck table use) | |
Grinding Method | - | Anomalous In-feed grinding with wafer rotation | |
Grinding Wheels | - | Φ200 mm Diamond Wheel | |
Spindle | Output | kW | 4.2 | Revolution speed range | min‐1 | 1,000 ~ 7,000 |
Machine dimensions (W × D × H) | mm | 1,200 × 2,670 × 1,800 | |
Machine weight | kg | Approx.3,100 |
※为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※使用时,请先确认标准规格书。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAG810 | DFG8340 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 |
半自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
1 | 1 | 2 | 2 | 4 | 3 |
1 | 2 | 3 | 3 | 5 | 4 |
600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
1,300 | 2,500 | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 6,700 |