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1.在线检测,方便快捷;
2.大尺寸检测空间,适应在线整盘加工元件的数字化品控。
光学元件加工过程在线检测,并实时给出面型测试数据,指导精确加工。
测量结构:斐索干涉立式结构
通光口径:Φ150mm
光源波长:632.8nm(进口氦氖激光光源)
平面标准镜:材料:石英;面型精度PV:λ/20
数字CCD:CCD分辨率1K*1K
对准方式:两点对准
对准视场:±2°
相移解相方式:机械相移解相
干涉仪测试空间尺寸:410mm(长)*410mm(宽)*210mm(高)