序号

指标名称

指标水平

1

测试方式

双端口卧式结构

2

有效测试口径

大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm

3

相移方式与测试波长

波长调谐光源，波长632.8nm（可选1064nm,1053nm等）

4

调焦

光瞳调焦范围大于±2.0m

5

变焦

1X光学变焦+50X数字变焦

6

探测器

分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K

7

仪器传递函数（ITF）

＞0.70 @ 0.6 cycles/mm

8

φ600mm标准楔形镜（TF镜）

PV优于λ/15,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm

9

φ600mm标准反射镜（RF镜）

PV优于λ/15,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm

10

系统空腔精度

PV优于λ/14,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm

11

系统重复性精度

RMS重复性精度：＜λ/2000（2σ）

12

系统稳定性

24小时测试，系统空腔精度与重复性均达到第10,11项精度指标

13

系统可靠性

平均工作时间大于1000小时，连续工作时间大于48小时

14

分析系统

QPS快速抗振波长调谐随机相移分析系统

15

平行平板分析

多波长扫描平行平板分析功能，厚度范围1mm-5m

16

材料光学均匀性分析

四步法材料均匀性测量分析

17

测试对准方式与角度

快速对准角度＞±15°，测试操作时间小于2min

18

测试工装

两维角度调节，一维平移调节，气浮大范围调节