晶圆等离子清洗机(等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀/晶圆凸点/有机污染去除/晶圆减薄)

晶圆等离子清洗机(等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀/晶圆凸点/有机污染去除/晶圆减薄)

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具体成交价以合同协议为准
2021-12-01 14:04:45
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大族激光科技产业集团股份有限公司

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产品简介

功能:可清洗晶圆表面的颗粒、有机物、金属杂质、氧化物特点:1)相较于真空等离子

详细介绍

功能:

可清洗晶圆表面的颗粒、有机物、金属杂质、氧化物

特点:

1)相较于真空等离子,可以在常压下工作

2)工作效率远高于真空等离子

3)氩气等离子辉光为低温,不会破坏晶圆

序号项目规格参数
1电源电压220(±10%)VAC,50/60Hz
2电源需求220VAC/10A以上,
3工作频率13.65MHz
4设备功率<3.2KW(依实际为准)
5气源要求根据产品选AR,N2,O2等气体
6压缩空气≥0.3MPa(3kg/cm2)
7主机尺寸1260(L)x600(W)x1980(H)mm
8等离子头尺寸400(L)x80(W)x60(H)mm

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