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面议清洗作用:
名称(Name) | 真空等离子清洗机 |
型号(Model) | VAC-P110L Plasma |
控制系统(Control system) | PLC+触摸屏 |
电源(Power supply) | 380V/AC,50Hz,3KW |
射频电源功率(RF Power) | 600W/13.56MHZ |
容量(Volume) | 110L(Option) |
层数(Electrode of plies) | 8 |
气体通道(Gsa) | 两路工作气体可选:Ar、N2、H2、CF4、O2 |