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| 机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·检出器回转式 |
|---|---|
| 半径方向 回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
| 测定径 | 内外径都是Φ550mm |
| 积载质量 | 200kg |
| 上下移动量 | 750mm (使用b触针臂时） |
| 工作台移动范围 | X:土60mm Y:士60mm |
