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面议NanoFocus半导体晶圆检测设备（人工装载）产品参数
| 分辨率 | X & Y轴: 0.5-2.5um; |
|---|---|
| Z轴：0.016 um; | |
| 取样率 | 20000 Hz |
| 工作距离 | 8 mm |
| 扫描宽度 | 630 um |
| 高度范围 | 300 um – 400 um |
| 机台尺寸 | 400mm x 400mm（可定制） |
