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SE-RD-STD系列Radiation 全光谱椭偏仪
面议SR-RD-STD系列Radiation 全光谱反射仪
面议8”-12” Fully Automatic Tape SawZV SAW Machine-TS1261 (博磊切割机系列-TS1261)
面议REF100KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备(人工装载)
面议EF650KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备(全自动集成型)
面议SEF781DKOSAKA 表面粗度轮廓形状测定机
面议EF651DKOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议EF550A-M50/-M58KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议EC1550HKOSAKA 真圆度仪 | 圆柱度测定机
面议EC1850P/EC3300PKOSAKA 真圆度仪 | 圆柱度测定机
面议日本小坂KOSAKA便携式粗糙度仪
测针 | 2/5/10um 90° |
测定力 | 1.5-3.0mN |
检出范围 | 400/100/10um |
分辨率 | 50/10/5nm |
精度 | 115-265nm误差 Ra3um时 |
驱动长度 | 25.5mm |
测量速度 | 1mm/s |
Cut-Off | 0.25/0.8/2.5mm |
参数 | Ra、Rz、Rp、Rv、Pa、Pz、Pp、Pv等 |
数据输出 | 7个数据/页,可添加图形 ,USB导出 |