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µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备（人工装载）
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µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备（全自动集成型）
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EC1850P/EC3300PKOSAKA 真圆度仪 | 圆柱度测定机
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| 测定范围 | 土12mm、150°对基准圆的范围 |
|---|---|
| 基准圆半径 | R3.5mm |
| 回转精度 | 2um以下 |
| 最小取样间隔 | 10,000点/回转 |
| 触针/测定力 | R30um 100mN以下 |
| 测定倍率 | 10~50倍 |
