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SE-RD-STD系列Radiation 全光谱椭偏仪
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8”-12” Fully Automatic Tape SawZV SAW Machine-TS1261 （博磊切割机系列-TS1261）
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REF100KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
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µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备（人工装载）
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EF650KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
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µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备（全自动集成型）
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SEF781DKOSAKA 表面粗度轮廓形状测定机
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EF651DKOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
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EF550A-M50/-M58KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议| 试片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重现性 | 1σ 0.5nm以内 |
| 测定范围 | Z:100um X:100～305mm (Y移动量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面
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