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MarSurf GD 280 | MarSurf GD 140 | |
測針長度 | 45 mm (x 1) 67.5 mm (x 1,5) 90 mm (x 2) 112.5 mm (x 2,5) 135 mm (x 3) | 45 mm (x 1) 67.5 mm (x 1,5) 90 mm (x 2) 112.5 mm (x 2,5) 135 mm (x 3) |
量測速度 | 10 mm/s | 10 mm/s |
量測範圍(X 方向) | 280 mm | 140 mm |
解析度 | 量測範圍 1:7.6 nm 量測範圍 2:0.76 nm | 量測範圍 1:7.6 nm 量測範圍2:0.76 nm |
定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) | 0.02 - 200 mm/s (X) |
测量範圍 mm | 500 µm (±250 µm),用於 45 mm 測針長度 1500 µm (±750 µm),用於 135 mm 測針長度 | 500 µm (±250 µm),用於 45 mm 測針長度 1500 µm (±750 µm),用於 135 mm 測針長度 |