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所在地
MarSurf VD 280 | MarSurf VD 140 | |
测量速度 | 10 mm/s | 10 mm/s |
量測長度(X 方向) | 0.1~280 mm | 0.1~140 mm |
定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) | 0.02 - 200 mm/s (X) |
量測範圍 mm | 表粗測頭系统 BFW 250 500 µm (±250 µm),用于 45 mm 測針長度 1500 µm (±750 µm),用于 135 mm 測針長度 輪廓側頭系统 C11 70 mm,測針長度 350 mm 100 mm,測針長度 490 mm | 表粗測頭系统 BFW 250 500 µm (±250 µm),用于 45 mm 測針長度 1500 µm (±750 µm),用于 135 mm 測針長度 輪廓測頭系统 C11 70 mm,測針長度 350 mm 100 mm,測針長度 490 mm |