品牌
其他厂商性质
所在地
接觸速度(Z 方向) | 0.1 至 1 mm/s |
---|---|
測杆長度 | 175 mm, 350 mm |
量測速度 | 0.2 mm/s 至 4 mm/s |
針尖半徑 | 25 µm |
可量測長度(X 方向) | 0.2~120 mm |
解析率 | Z 方向,相對探針針頭:0.38 µm(350 mm 測杆)/ 0.19 µm(175 mm 測杆) 在 Z 方向,相對於測量系統:0.04 µm |
定位速度﹝本體﹞ | X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s Z 方向:0.2 至 10 mm/s |
導塊偏差 | < 1 µm(超過 120 mm) |
測量範圍 mm | (Z 方向)50 mm當測針長為350mm;25 mm當測針長為175mm |
測量力 (N) | 1 mN 至 120 mN |