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MarSurf CD 280 | MarSurf CD 140 | |
测杆長度 | 210 mm; 350 mm; 490 mm | 210 mm; 350 mm; 490 mm |
量測速度 | 0.02 - 10 mm/s | 0.02 - 10 mm/s |
量測範圍(X 方向) | 0.1~280 mm | 0.1~140 mm |
解析率 | 6 nm(210 mm 测杆) | 6 nm(210 mm 测杆) |
定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) | 0.02 - 200 mm/s (X) |
测量範圍 mm | 70 mm(Z 方向,350 mm 测杆) 100 mm(490 mm 测杆) | 70 mm(Z 方向,350 mm 测杆) 100 mm(490 mm 测杆) |
测量力 (N) | Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN,可透過軟體调整 | Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN,可透過軟體调整 |