激光划片机--ML200EX

CHaMP(化学机械抛光机)

减薄性研磨机--PG3000RMX

高刚性研磨机--HRG3000RMX

高刚性研磨机--HRG200X

高刚性研磨机--HRG300

探针台--UF200R

探针台--UF2000

探针台--UF3000EX

探针台--UF3000LX

自动清洗机--A-CS-300

基板切割机--PS300