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面议点自动对焦3D形状测量机MLP-3产品参数，另有高精度MLP-3SP（0.001um）可供选择，欢迎咨询。
移动范围 （X，Y，Z，AF(R)，AZ(θ)） | X:60 x Y:60 x Z:60mm AF(R) 40mm AZ(θ) 360 |
X-Y 轴分辨率 | 0.1um |
Z 轴分辨率 | 0.1um |
R 轴分辨率 | 0.01um |
激光点直径 | 1um |
激光 | 半导体激光（o/p：1mW Max. λ= 635nm） |
