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面议点自动对焦表面形状测量机PF-60产品参数
移动范围（X，Y，Z） | 60 x 60 x 60mm |
X-Y 轴分辨率 | 0.1um |
Z 轴分辨率 | 0.01um |
激光点直径 | 1um |
激光 | 半导体激光（o/p：1mW Max. λ= 635nm） |
