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面议µsprint hp-hsi 2000NanoFocus | 半导体晶圆检测设备(全自动集成型)
面议SEF781DKOSAKA 表面粗度轮廓形状测定机
面议EF651DKOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议EF550A-M50/-M58KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机
面议测定范围 | 12?m |
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分解能 | 0.2nm |
聚焦直径 | 约1.0?m |
作动距离 | 约1.5mm |
试料面的反射率 | 4%或以上 |
激光波长 | 635nm |