NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪主要功能及应用:

• 多种测量功能

精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。

• 薄/厚膜材料

薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线

• 蚀刻沟槽深度, 光刻胶/软膜

亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合，可测量沟槽深度形貌。

• 材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性

分析软件可轻易计算40多种的表面参数，包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。

• 表面光滑度和曲率

可从测量结果中计算曲率或区域曲率

• 薄膜二维应力

测量薄膜应力，能帮助优化工艺，防止破裂和黏附问题

• 表面结构和尺寸分析

无论是二维面积中的坡度和光滑度，波纹度和粗糙度，还是三维体积中的峰值数分布和承载比，本仪器都提供相应的多功能的计算分析方法。