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面议主要特点：
设备特点：
采用高精度二维直线电机平台，DD马达晶圆双臂搬运机器人，全自动视觉定位，设备配置标刻内容校验功能
主要参数:
| 主要参数 | 加工尺寸 | 2-6inch晶圆片 |
| 加工速度 | UPH≥60pcs | |
| 加工精度 | ±10μm | |
| 平台参数 | 行程400mm*250mm， 重复定位精度±0.002mm， DD马达重复定位精度±2arcsec | |
| 激光器参数 | 紫外纳秒，平均功率3W | |
| Tact time | ＜60s | |
| 稼动率 | / | |
| 重大故障间隙时间 | / | |
| 良率 | 99.9% |
加工效果：
