VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀

VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀

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2023-10-07 16:16:14
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产品简介

VUV-VASEEllipsometer薄膜厚度量測儀以M-2000為主體

详细介绍

J.A.Woollam
VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀以M-2000為主體，實現了快速大面積掃描，寬廣的光譜範圍適合各種大面積薄膜的量測，尺寸可達1.1x1.5m，光譜範圍可達245-1690nm

VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀特點：
  • 大面積尺寸樣品膜厚量測，可達1.1 x 1.5 m
  • 均勻性掃描適用各種材料
  • UV-VIS-IR波長可選
  • 智慧型使用介面，快速定義量測區域欲測試點
  • 內建完整model，快速因應各式材料薄膜
Theta-SE橢圓儀 應用：
  • VCSEL量測
VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀
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