VASE高精度薄膜厚度量測儀

VASE高精度薄膜厚度量測儀

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2023-10-07 16:13:25
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产品简介

J.A.WoollamVASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀,V-VASE系統非接觸式膜厚量測,垂直擺放樣品,移動精度高,量測角度從15-90度,可進一步量測樣品穿透率

详细介绍

J.A.Woollam
J.A.Woollam VASE是一款高精度多角度橢圓偏光儀,V-VASE系統非接觸式膜厚量測,垂直擺放樣品,移動精度高,量測角度從15-90度,可進一步量測樣品穿透率。
VASE高精度薄膜厚度量測儀特點
  • 測量靈活:帶有垂直樣品台的V-VASE,可以適應各類測量,包括反射、穿透、散射等。
  • 準確的數據測量:VASE是結合自了動相位延遲(AutoRetarder®)技術的旋轉檢偏(RAE)橢偏儀,測量精準。
  • 高精度的波長選擇:HS-190掃描式單色儀是為光譜橢偏術專門設計的。在自動控制波長選擇及光譜分辨率時,它可以優化速度、波長準確性及光輸出。
VASE高精度薄膜厚度量測儀 應用
  • VCSEL量測
VASE高精度薄膜厚度量測儀
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