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非接触式光学干涉表面轮廓形貌仪

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TalysurfCCI非接触式光学干涉表面轮廓仪，一台*的光学仪，采用了创新的相关相干算法，对抛光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者台阶的表面进行扫描，获取表面的三维形貌数据

Talysurf CCI非接触式光学干涉表面轮廓仪，一台*的光学仪，采用了创新的相关相干算法，对抛光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者台阶的表面进行扫描，获取表面的三维形貌数据。

型号	CCI
测量方法	相关相干干涉（CCI）
Z轴分辨率	0.01nm
Z轴测量范围	2.2nm
RMS重复性	＜0.02nm
测量面积（X.Y）	6.6x6.6mm
特点	非压电陶瓷闭环Z轴控制，提高精度，不易损坏
应用范围	MEMS, 芯片，膜厚，镜头和玻璃表面分析，磨损测试和摩擦学，材料分析，太阳能电池，等