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型号 | LuphScan120 | LuphScan260 | LuphScan420 |
测量直径 | Φ120mm | Φ260mm | Φ420mm |
表面形状 | 球面、非球面、平面、自由曲面 | ||
纵向分辨率 | 0.1nm | ||
精度 | 50nm | 250nm | 1μmmiu |
特点 | LuphoScan基于多波长干涉技术(MWLI)的干涉扫描系统,专为旋转对称的超精密非接触3D形状测量而设计。四个精密工作台保证灵活精密测量 | ||
应用范围 | 各种透镜,超精密旋转体研磨表面工件等 |