序号

指标名称

指标参数

1

描述

一站式振动不敏感动态泰曼格林干涉仪

2

采集模式

单个相机，高速光学相位传感器

3

激光源

稳定632.8nmHeNe激光器

4

空腔长度

>100 m

5

偏振态

圆偏光

6

光瞳变焦范围

±12.5 mm

7

光瞳放大率

固定，3倍数字变焦

8

条纹衬度

用户可调节的反射率从1-99%

9

相机

2448*2048 Pixel,12bit

10

计算机系统

双核2.4GHz处理器4GB内存，320GB硬盘CDRW，DVDRW，22英寸液晶显示器，键盘，鼠标

11

操作系统

Windows 10

12

系统软件

分析软件与用户手册瞬时移相位数据采集参考生成，数据平均，峰谷值（PV值）、标准偏差（RMS）、等高图、三维立体图、干涉条纹图、X-Y剖面图、MTF光学传递函数、PSF点扩散函数、波前梯度等。升级-保修期间免费

13

物理尺寸

测量头：<19.5×16.2×220.00000000000003px

激光源：68x25x17.5cm

14

重量

测量头：<4.2kg激光源：9.7kg

15

静止热耗散

干涉仪5W，源模块22W

16

功率

<50W在220V交流仪器和电源模块

<750W在220V交流下，带计算机和显示器

17

保修单

一年，现场系统安装和操作人员培训

配件

18

球面镜头

F5,F12,F22

19

五维调整架

X、Y、Z、和倾斜度

20

扩展精度包

均方根精度提高了2倍

系统性能

21

采集速度

＞10帧/秒 显示 4幅干涉图/帧，＞12帧/秒 数据采集带后数据处理

22

最小曝光时间

30 µs

23

样品反射率

1-99%

24

RMS重复性

0.001λ^*

25

RMS精度

0.002λ^**