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Cosmo Finder 是一種使用顯微鏡通過圖像處理實現晶圓的高速和高精度目視檢查的設備。例如,我們可以解決客戶無法檢查所有晶圓,未發現微小異物或幾微米的刮痕,工人誤檢,節省人工等問題。
待測晶圓 | 裸晶、圖案化晶圓、帶膜晶圓 |
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晶圓尺寸 | 2英寸到8英寸 |
檢查項目 | 異物、裂紋、亮度不均、斷線、圖案識別、尺寸、尺寸、OK/NG判斷 |
檢測方法 | 顯微圖像處理方法(高速模式匹配、AI分類、亮度提取) |
檢測時間 | 約10分鐘/晶圓(6英寸晶圓,分辨率0.69um) |
檢測靈敏度 | 約2μm以上 |
相機 | 2 / 3 英寸 5MP CMOS 攝像頭 |
光源 | 白光LED |
自動對焦 | 激光三角測距型,對焦時間100毫秒以下 |
設備尺寸 | 寬635mm 高1355mm 長 998mm |
設備重量 | 約130kg |