採用點雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結構表面形貌。

MLP-3 全周輪廓掃描式表面輪廓儀，量軸X/Y/Z/θ/AF五軸都用光學尺解析且每一軸可單獨控制，對於精密小尺寸、非對稱形結構之外徑或內徑輪廓量測，有極大發揮空間，適合各種產業小樣品量測或內徑輪廓粗度量測需求。

MLP-3量測應用如螺絲與滾珠螺桿導程角量測，小模數齒輪齒形量測與評價，刀具刀R角輪廓粗度量測，鑽石伸線眼模的孔模斷面輪廓，近期元宇宙商機使用虛擬實境VR眼鏡中的扶涅爾鏡片Fresnel Lens，MLP-3也可精準將輪廓量出來。

• 適合量測材料：鑽石、透明、液態膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
• 一次量測樣品同時解析幾何輪廓與表面粗度數據
• 適合量測工件：超精密加工模仁、超精刀、精密立銑刀、小模數齒輪、精密小端子零件、鋼珠鋼銶、滾珠螺桿、精密滑軌、精密模仁
• 標準分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
• 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價軟體

TYPE C零件外部金屬殼，中空扁平行狀，兩邊為圓弧狀，外殼端面有些向內凹的微小輪廓。

本案例說明如何利用MLP-3量測儀器來量測TYPE C機殼的外部輪廓與內部輪廓。圖一為TYPE C零件置放在治具載台上畫像。

圖二為零件外部全周輪廓圖，如果將掃描密度提高可量測樣品表面粗糙度。

金屬殼2端面之肉厚量測方式，PAP量測方式可以聚焦到深溝穴，設定量測儀器取樣密度與量測路徑，MLP-3依照程式進行全周輪廓量測，圖三顯示零件輪廓圖。外徑、內徑、肉厚，輪廓量測方式可量測輪廓度、粗糙度、平面度。

MLP-3為5軸控制點雷射聚焦表面輪廓掃描量測儀器，符合ISO 25178-605規範之PAP量測法，非接觸式可精準掃描零件內外部輪廓計算肉厚，對於異形工件量測有莫大助益。

齒輪齒形量測多半是使用接觸式探針量測齒形輪廓，隨著齒輪精密度提升，小模數齒輪開發，接觸式觸針量測齒腹與齒底時因探針結構限制，在量測上產生一些精度困擾，於是非接觸式量測方法漸漸被操作者接受。

圖一 小模數內齒輪量測方式

本案例說明三鷹光器公司AFOT方法量測小模數齒輪齒形，參考圖一畫像為一小尺寸內徑齒輪量測照片，這種齒距極小，接觸式觸針量測方式受到極大挑戰。

使用日本三鷹光器公司MLP-3量測儀器量測小模數齒輪的全周輪廓圖形如圖二所示，內齒輪內徑約8mm，齒數80，齒輪模數0.1。

圖二 內齒輪全周輪廓圖

如果要分析齒形3D輪廓，我們提供一套CAD比對軟體，可將樣品3D掃描完成座標數據套用CAD設計式做比對，建公差範圍，得到3D圖示。圖三顯示量測3D數據與CAD擬合結果。

圖三 樣品公差用CAD擬合

日本三鷹光器公司的齒形量測儀器MLP-3，採用ISO標準規範認可的點雷射探針量測法，量測數據比美高階接觸式量測儀精度，具有下述優勢：
1.非接觸式，無探針耗材及探針磨損造成量測不確定性。
2.量測速度快，提高檢測樣品數量。
3.齒形評價，齒形輪廓，齒面粗糙度，一機完成量測。
4.齒輪模數小於0.5以下占有極大量測優勢。
5.諧波齒輪鋼輪與柔輪，正齒輪，斜齒輪，內齒輪，傘齒輪…皆可測定。