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採用點雷射自動聚焦方式(符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理),雷射聚焦樣品表面掃描,當使用x100物鏡聚焦樣品表面時雷射光點尺寸(Spot size)φ1um,可量測微結構表面形貌。
本裝置應用於加工機或與生產線上裝置組合,線上量測工件的表面粗度、幾何輪廓,對超精密加工之精度提升與品質管理標準量化做出貢獻。
測定範圍 | AF:10mm |
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AF軸測定解析度 | 0.01μm (0.001μm) |
AF軸測定精度 | (0.3+0.5L/10)μm L=測定長(mm) |
測定再現性 | σ=0.03μm |
雷射點徑 | 1μm(100X) |
雷射 | λ=635nm 功率 1mw |
測定方向 | 水平~垂直(向下) |
探針組重量 | 3kg |
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