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| 寸法 (mm) | 使用面の直角度・平行度 (μm) | 質量 (Kg) |
| 320×320×50 | 3 | 11 |
| 600×450×60 | 5 | 31 |
| 寸法 (ｍｍ) | 使用面の直角度・平行度 (μｍ) | 質量 (Kg) | ||
| 320×320×60 | 3 | 12 | ||
| 350×350×60 | 3 | 14 | ||
| 5 | 30 (53) |
| 寸法 (ｍｍ) | 使用面の直角度・平行度(μｍ) | 質量 (Kg) | |
| 特級 | A級 | ||
| 350×350×45 | 2 | 3 | 11 |
| 550×550×70 | 3 | 5 | 26 |
