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面议NanoFocus半导体晶圆检测设备（人工装载）产品参数
分辨率 | X& Y轴: 0.5-2.5um; |
|---|---|
Z轴：0.016 um; | |
取样率 | 20000Hz |
工作距离 | 8 mm |
扫描宽度 | 630um |
高度范围 | 300 um – 400 um |
机台尺寸 | 400mmx 400mm（可定制） |
