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苏州市所在地
◆ 项目: | 参数 | 备注 |
◆ 硅片尺寸: | 156×156mm | 兼容125×125mm |
◆ UPH: | ≥3600PCS | @1mm线间距 |
◆ Uptime: | ≥95% | |
◆ MTBF: | ≥250hours | |
◆ MTTR : | ≤12hours | |
◆ Yield: | ≥99.8% | |
◆ 碎片率: | ≤0.1% | |
◆ 切割精度 : | ±0.3mm | |
◆ 切割深度 | 40μm±5μm | 可定制 |
◆ 其他功能 | 1.可用于SiOx、ALOx、与SiNx膜层的消除 | |
◆ 设备尺寸 | 2200mm×5600mm×1700mm |