晶圆激光开槽设备（四元）

    晶圆ji光开槽设备（四元）产品简介 ：

    型号AS-5360，利用高质量光斑的激光对砷化镓晶圆进行半切透的加工

晶圆激光开槽设备（四元）

    晶圆ji光开槽设备（四元）产品特点 ：

    设备优势：

     ◆ 切割速度快，良率高，产能高

     ◆ 无残渣、回融，外观好

     ◆ 全自动运行，集成保护液涂覆，晶圆开槽，清洗模块

    工艺流程：

     保护液涂覆---切割---清洗

    晶圆ji光开槽设备（四元）性能指标 ：

     ◆ 激光种类：355nm半导体泵浦激光器 (紫外)

     ◆ 激光功率：≧8W

     ◆ 冷却方式：封闭式循环水冷

     ◆ 划片速度：切割轴X轴切速≦600mm/s

     ◆ 划片尺寸：2寸、4寸（可升级6英寸）

     ◆ 激光切割线宽：＜15um@切深40um

     ◆ 切割道宽度：≧30um

     ◆ 切割对象：砷化镓

     ◆ 加工方式：正划/背 切；单轴切割

    晶圆ji光开槽设备（四元）产品应用 ：

     应用材料和领域：

     ◆ 应用于LED照明行业红黄光产品的砷化镓晶圆的直线切割