FP/FPS紫外微加工系统

  FP/FPS紫外微加工xi统产品简介：

  该设备是德龙激光凭借自身强大的技术能力和制程经验，成功开发出的新一代激光精细加工系统。设备各部件高效集成，可实现高精度钻孔、切割及表面材料刻蚀等加工工艺。

  FP/FPS紫外微加工系统

  FP/FPS紫外微加工xi统产品特点：

  ◆ 光束质量优异、*工作稳定性好；

  ◆ 激光源峰值功率高，可对几乎任何固体材料实现精细加工；

  ◆ *的加工柔韧性，可进行任意形状细微切割；

  ◆ 加工线宽窄、边缘品质好，热影响区域小；

  ◆ 非接触式加工，无任何接触应力产生，可有效提高样品加工的品质和良率；

  ◆ 旋光钻孔/切割模组，实现径深比1：5；

  FP/FPS紫外微加工xi统性能指标：

  ◆ 加工幅面：250mm×250mm（可定制）
  ◆ 波长：1064/532/355nm（波段可选择，可集成双光路系统、三光路系统）
  ◆ 聚焦光斑：10-25μm可调
  ◆ 大运行速度 200mm/s（X、Y轴）25mm/s（Z轴）
  ◆ 定位精度 ：±3μm
  ◆ 重复精度 ：±2μm

  FP/FPS紫外微加工xi统产品应用：

  TSV100 微米 小孔                  

  孔侧壁

  金属材料打孔

  微槽蚀刻