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济南市所在地
| 序号 | 名称 | 技术参数 |
| 1 | 电容检测精度 | ±0.01pF |
| 2 | 检测取样频率 | 40次/每秒 |
| 3 | 检测取样面积 | Φ5mm |
| 4 | 随动控制精度 | ±0.1mm |
| 5 | zui大行程 | 120mm |
| 6 | 控制系统 | 自主开发 |
| 7 | 升降电机 | 高性能步进电机 |
| 8 | 控制器工作温度 | -10~60℃ |
| 9 | 探头组件工作温度 | -10~250℃ |
| 10 | 水冷/气体管径 | Φ6mm |
| 11 | 离焦量调节范围 | 1.0mm~4.0mm |
| 12 | 供电电压 | AC220V±10%, 50Hz/60Hz |
