LMG2A线性马达
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泰州市海陵区欧菱自动化设备有限公司
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特征:
zui大行程4m x 4m 以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下zui大速度可達5m/s 標準重現精度1um或以下位置回饋系統解析度zui低可達50nm
应用:
半導體設備自動化搬送FPD設備太陽能製造設備PCB設備水刀設備鑽石切割產業AOI檢測設備工具機
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