三次元工具顯微鏡

• 採用光學Z軸對焦符號非接觸式檢測待測物（SamPle）高度／深度，避免造成待測物（SamPle）刮傷或變形。
• 可加裝測量軟體，並運用量測統計分析（SPC）管制、WORD、EXCEL快速製作量測報告。
• 可單獨選購Z軸對焦符號，加裝到其它三次元工具顯微鏡，有效提高Z軸精度。

應用範圍：

• 錫球高度
• 金線弧高
• 銅箔高度
• 晶圓高度／深度
• 電子、機械各類產品高度／深度檢測

Z軸對焦符號

多種標準測定平台可供選擇