产品简介
液晶面板製造暨檢查設備電路整列製程設備（ArrayFabrication）及彩色濾光片製程設備（C/F,ColorFilterProcess)玻璃基板表面檢查設備於對坡璃基板表面異物檢查及製程管理對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢
详细介绍
液晶面板製造暨檢查設備
電路整列製程設備（Array Fabrication）及彩色濾光片製程設備（C/F,Color Filter Process)
玻璃基板表面檢查設備
- 於對坡璃基板表面異物檢查及製程管理
- 對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢。
- 具有節省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優點。
近接式曝光機
- 最以X Y Step方式對應第10代基板尺寸的近接式曝光機
- 比投影式曝光機台具有成本上優勢
- 採用高功率的曝光光源
