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ZNX-6R各项操作根据人机工程学设计,限度减轻操作
者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自
由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多
种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。
大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。
高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。
技术规格
光学系统 无限远色差光学系统 观察筒 30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100(支持 25/26.5mm 视场) 30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节 :50-76mm,三档分光比 0:100 ;20:80 ;100:0(支持 25/26.5mm 视场) 5-35°倾角可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,单边视度调节:±5 屈光度,两档分光比 100:0 或 0:100(支持 22/23/16mm 视场) 目镜 高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm,可带测微尺,可选视度可调 高眼点大视野平场目镜 PL10X/23mm,视度可调 高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带刻度十字分划板 高眼点大视野平场目镜 PL10X/26.5mm,视度可调,可带刻度十字分划板 高眼点大视野平场目镜 PL15X/16mm 物镜 长工作距平场明暗场消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X) 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X) 超长工作距明暗场半复消色差金相物镜(20X) 转换器 内定位五孔明暗场转换器,带 DIC 插槽 调焦机构 透、反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 . 内置100-240V宽电压系统,5W 暖色LED透射光照明系统,上下光独立可控 载物台 6 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 445mm×240mm,反射照明移动范围 :158mm×158mm ;透射照明移动范围 :100×100mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板(透、反射用) 照明系统 明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽 摄影摄像 0.35X/0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦 其他 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 ;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC 微分干涉组件。