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XM-60多光束激光干涉仪
XM-60是一款可测量6个自由度的激光测量系统：
沿线性轴；
测量；
只需一次设定 测量误差包括：
轴的线性定位；
垂直平面的角度旋转（仰俯）；
水平平面的角度旋转（扭摆）；
水平平面的直线度偏移；
以线性运动轴为中心的滚摆；
性能规格
| 线性 | |
| 测量精度 | ±0.5ppm（使用环境补偿） |
| 分辨率 | 1nm |
| 测量范围 | 0m至4m |
| 直线度 | |
| 精度 | ±0.01A/±2µm(A=显示的直线度读数) |
| 分辨率 | 0.25µm |
| 测量范围 | 250µm（半径） |
| 角度（俯仰/扭摆） | |
| 精度 | ±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=测量的距离，单位：米) (A=显示的角度读数) |
| 分辨率 | 0.03微弧度 |
| 测量范围 | ±500微弧度 |
| 滚摆 | |
| 精度 | ±0.01A±9.1微弧度(A=显示的角度读数) |
| 分辨率 | 0.5微弧度 |
| 测量范围 | ±500微弧度 |
工作与存储环境
| 工作环境 | ||
| 空气压力 | 600毫巴-1150毫巴 | 标准环境 |
| 湿度 | 相对湿度0%-95% | 非冷凝 |
| 温度 | 10°C至40°C |
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| 存储环境 | ||
| 空气压力 | 550毫巴–1200毫巴 | 标准环境 |
| 湿度 | 相对湿度0%-95% | 非冷凝 |
| 温度 | -20°C至70°C |
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