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激光干涉仪XL-80
标准的XL-80激光干涉仪可以高达50kHz的频率采集动态数据。QuickViewXL软件包简单易用,有直观的界面,能够记录、查看和保存动态数据。
系统性能 | ||
移动速度 | 4m/s* | |
动态采集频率 | 10Hz-50kHz** | |
预热时间 | <6分钟 | |
精度范围 | 0°C-40°C | |
环境传感器 | 范围 | 精度 |
材料温度 | 0°C-55°C | ±0.1°C > |
空气温度 | 0°C-40°C | ±0.2°C |
气压 | 650毫巴-1150毫巴 | ±1毫巴 |
相对湿度(%) | 0%-95%非冷凝 | ±6%相对湿度 |
*1.6m/s(80nm正交);0.2m/s(10nm正交) **20MHz,正交模式 |